忽悠?
倒也不是!
准确来说,不能叫忽悠,最多算是画大饼!
宁向天黑着脸,看着化身为吃瓜群众的妻子和女儿,幽幽道:“在你们眼中,我就是个大冤种吗?想忽悠我,除非这小子能让我听不懂!”
叶凡咂了咂嘴,拿起茶几上的水壶倒了满满一杯水,一仰头喝得干干净净,“影响光刻机精度的一个重要的性能指标是图形分辨率,图形分辨率是衡量分开相邻两个物点……”
“按照几何光学理论,光学系统没有像差时,每个物点应该产生一个锐利的点像,可由于衍射现象的存在,实际成像效果总是一个有限大小的光斑。”
说到这里,叶凡的话音一顿,暗中观察了一下宁向天和蓝溪的反应。
懵?
那就对了!
他放下心,继续讲解:“两个光斑发生重叠,二者中心强度极大值的位置越近,越难以分辨出这两个物点,在先进半导体集成电路制造中,获得高集成度器件分辨率很关键。”
“光刻分辨率对任何光学系统都是很重要的参数,并且对光刻很关键,因为需要在硅片上制造出极小的器件尺寸,硅片上形成图形的实际尺寸就是特征尺寸……”
“停!”
宁向天嘴角疯狂抽搐,“你、你这讲的什么东西?”
叶凡口干舌燥地停下,“叔叔,不是你和蓝姐让我讲的专业一点吗?”
“那也得让人听得懂,你这讲的啥?天书吗?”
宁向天吐槽完,立刻对着蓝溪摆了摆手,“这次不算,这小子绝对是故意的,
讲成这样,鬼也听不懂!”
蓝溪嗤笑,“听不懂就听不懂,有什么好装的?你和我跟小希不也一样嘛,小希,妈说的对吧?”
“谁装了?”
宁向天沉着脸,拒不承认。
就在这时,宁希弱弱地举起手,“爸爸妈妈,我可以说自己能听懂吗?
顿时间,宁向天和蓝溪纷纷尬住。
女儿能听懂?
她为什么可以可以听懂!?
宁向天眉头皱起,“小希,你听不懂就说听不懂,在爸爸妈妈面前还有什么不好意思的?”
蓝溪没说话,等着女儿接下来的话。
宁希撇了撇嘴,“可是…我真的能听懂。”
“能听懂?”
宁向天意味深长一笑,“那行,你接着小凡刚才的继续说。”
宁希嗯了声,软声细语:“哥哥刚刚讲到硅片上形成图形的实际尺寸就是特征尺寸,最小的特征尺寸即关键尺寸,对于关键尺寸……”
“打住!”
宁向天再次叫停,没好气地瞪了叶凡一眼,“你继续讲,说通俗点。”
说话间,他脸上火辣辣地发烫。
太丢人了!
宁希小声建议道:“爸爸,先让我说完嘛。”
“说什么说?”
这一刻,宁向天真的很想质问女儿:我不要面子的嘛?!
可碍于妻子还在,这话只能在心中想想,一旦说出口肯定会被耻笑。
“小凡说。”
“唉。”
叶凡合着双手,“其实通俗点来说,想要提升光刻机的精度,可以从两个方面入手,一个是改变物镜,一个就是改变光源,两者完成其一
,即可提升光刻机精度,完成度越高,精度也就越高。”
“没了?”
“没了。”
“就这?”
“就这。”
宁向天冷声发问:“几句话就能说清楚的事,你刚才在那里瞎掰扯什么?”
叶凡左脸上刻着一个‘无’,右脸上刻着一个‘语’。
“看什么看?不服气?”
注意到叶凡的目光,宁向天呵斥道:“我说的有错吗?”
“不要脸!”
蓝溪适时出声,“明明刚刚是你要求小凡说的专业一点,现在又来说这种话,也不害臊?”
宁希臻首连点,往嘴里送了一颗瓜子后,用力地呸了下,在无声内含着什么。
“你们要听就安静一点。”
被妻女如此拆台,宁向天面子上有点过不去,只得尽快转移这个话题,“小凡,你刚才说提高光刻机精度可以从两个方面入手,那你的计划是什么?”
叶凡仔细思虑过后给出回答,“物镜的提升固然可以提升光刻机精度问题,可随着现在光刻尺寸提升越来越极小化,提升物镜提升的精度极其有限,并不能让光刻机精度达到15纳米以内,更别说最顶级的5纳米。”
“所以想要将光刻机精度提升到国际顶尖级别,只有一个办法,改变光源!”
“怎么改变?”
宁向